可制备的膜层种类如下：

耐磨涂层：TiN、TiC、CrN、TiCN等

减磨涂层：MoS2及MoS2-Ti、CuNiIn涂层

抗氧化冲刷涂层：TiAlN

热障涂层：MCrAlY、ZrO2

其它功能涂层：Pt、Au、Ag、Pd、Ni-AgPd等贵金属膜层

典型应用：应用于航空航天、船舶和核电领域的MCrAlY热障涂层、TiN、TiAlN耐磨涂层和Pt、Au、Ag、Ni-AgPd等贵金属涂层。

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